问题补充:
高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同? 化学
答案:
【答案】 气相沉积法 化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量,偏压以及其它
时间:2019-01-19 20:04:46
高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同? 化学
【答案】 气相沉积法 化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量,偏压以及其它