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第七章洁净室的环境控制
7.2静电防护
7.2.4静电测量[14]
7.2.4.1静电测量的目的和特点
静电测量是静电防护的一项十分重要的工作。为了解生产过程静电起电情况，判别生产过程中静电的影响程度以及检验静电防护用品、装备质量，都需要测量静电及有关参数。
(1)静电检测的目的
·为静电防护工程的设计提供数据和依据；
·在实际行条件下，判断人体、设备、工装等有无可能成为静电放电(ESD)危害源；
·检验防静电器材质量；
·评价防静电措施效果；
·发生ESD危害后所进行的模拟测试，以查明原因、采取措施、防止类似事故的发生。
(2)静电测量的特点
·静电电流小，在静电带电情况下，物体的带电量和贮存的能量通常是很小的，放龟电流一般在pA至μA范围内。为避免测量仪表的分流作用造成测量误差，仪表的输入阻抗要高。
·静电电压高，一般在数百伏至数万伏范围。为此，测量仪表要满足高电压测量及其分档的要求。
·要适应高绝缘材料的测量，高绝缘材料容易产生和积累静电，一般在静电测量中涉及到的绝缘体的电阻可达l018～1020Ω，因而，测量仪表要适用于高绝缘测量的要求。测量时，
整个测量系统要保持高绝缘性能，以免静电接地。
·要求测量仪表灵敏度高。
·静电测量受各种环境条件影响因素多（如：温湿度、周围其他物体的性质、环境力学条件等），致使测量的复现性差，要求进行多点测量。
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洁净厂房的设计与施工
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第六章 洁净厂房的公用动力设施184、185、186、187、188、189、190、191、192、193、194、195、196、197、198、199、200、201、202、203、204、205、206、207、208、209、210、211、212、213、214、215、216、217、218、219、220、221、222、223、224、225、226、227、228、229、230、231、232、233、234、235、236、237、238、239、240、241、242、243、244、245、246、247、248、249、250、251、252、253、254、255、256、257、258、259、260
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