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各闪存原厂3D NAND 存储芯片介绍

时间:2018-10-27 23:44:26

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各闪存原厂3D NAND 存储芯片介绍

相信我们都有所体会,当我们在购买苹果手机时,不同的内存大小价格也差距很大,这个内存指得就是闪存(Flash),苹果是第一家利用闪存来存储数据的公司。闪存又包括NOR Flash和NAND Flash二种,不过NOR Flash的容量较小一般为1Mb-2Gb,而NAND Flash能提供极高的单元密度,可达到高存储密度,适用于大量数据的存储,因此也是主流的闪存技术。从开始,全球大多数的智能手机都已开始使用3D NAND存储芯片,不仅是智能手机,3D NAND芯片在数据中心、云、服务器、SSD、PC等领域也非常受欢迎。

在3D NAND技术推出之前,NAND闪存均为2D平面形式。2D NAND架构的原理就像是在一个有限的平面上盖平房,平房的数量越多,容量也就越大。过往存储芯片厂商将平面NAND中的单元尺寸从120nm扩展到1xnm 节点,实现了100倍的容量。不过随着单元尺寸达到14纳米的物理极限,2D结构在扩展存储容量方面有着很大的局限性(当工艺尺寸达到一定阶段之后,闪存就很容易因为电子流失而丢失其中保存的数据)。

随着2D NAND的微缩达到极限,东芝(现在的铠侠)提出了3D NAND结构的技术理念,3D NAND是行业的一个创新性方向。与减少每个节点单元尺寸的平面NAND不同,3D NAND使用更宽松的工艺,大约介于30 纳米到 50 纳米之间,它通过增加垂直层数来获得更大的存储容量。因此,我们也可以看到,目前主流的存储芯片制造商均在竞相通过增加3D NAND垂直门数,以此来提高存储密度。他们已经规划了下一代3D NAND产品,包括232层/238层,甚至更大到4xx层甚至8xx层。虽说都在盖楼,但是各家盖楼所采用的架构却有所不同。

架构一:V-NAND,代表厂商:三星

,三星率先推出了V-NAND闪存,其中的V代表Vertical,垂直的意思,这是一种通过垂直堆叠3D空间中的穿孔连接其单元层的解决方案。三星是世界上第一家开发和商业化3D内存解决方案的公司,也为存储器行业创造了全新的范例。

,三星所开发的第一个 V-NAND闪存仅有24层,目前三星的V-NAND已经发展到第八代,它共有200多层。11月7日,三星宣布已开始量产具有200层以上的第八代1 TB的3D NAND (V-NAND),并计划根据消费者需求将其推向市场。而且三星的目标是到2030年实现1000层。V-NAND闪存不断发展,每一代新的V-NAND都带来了显着的性能提升,以及更低的功耗。

架构二:CuA,代表厂商:美光/英特尔

美光从第一代32层3D NAND就开始采用这种在芯片的外围逻辑上构建其3D NAND阵列的方法,美光将之称为是CuA(CMOS-under-array)。该架构为容量增长、密度、性能和成本改进提供了一种扩展方法。将NAND的位单元阵列堆叠成更多层,每平方毫米硅片提供更多bit,从而实现更高的密度和更低的每bit成本。

7月下旬,美光宣布了其232层3D NAND,据美光称,此232层的3D NAND实现每平方毫米最高的TLC密度(14.6 Gb/mm2)。面密度比同类TLC产品高35%到100%。据美光的信息,该3D NAND设备分成六个平面(当今市场上的许多NAND设备只有两个平面,也有的前沿设计采用四个平面分区来通道命令和数据流),以实现更高的并行度,从而提高性能。在每个芯片的基础上,增加的并行性通过支持可以同时向 NAND 设备发出更多的读写命令,提高了顺序和随机访问的读写性能。就像高速公路一样,车道越多,拥堵越少,通过给定区域的交通流量就越大。目前美光的232 层 NAND已出货。

架构三:BiCS,代表厂商:铠侠/WD/SK海力士

铠侠(Kioxia)和西部数据(WD)正在联合开发名为 BiCS Flash的3D NAND。铠侠的前身是东芝,如开头所述,东芝是世界上第一个发明闪存(1987年)并且提出3D NAND技术的公司。早在Kioxia还是东芝的时候,就与SanDisk建立了闪存合作伙伴关系,后来西部数据收购了SanDisk,东芝成为了Kioxia,两家便成立了合资企业Flash Ventures(FV),成为合作伙伴。FV由WD / Kioxia各拥有50/50的份额,晶圆产能也被分成50/50的份额。

KIOXIA于在学术会议上提出了BiCS FLASH™“批处理技术”的概念。据铠侠对BiCS FLASH™“批处理技术”的解释是:在BiCS FLASH™中,有一个板状电极作为控制栅(下图中的绿色板)和绝缘体交替堆叠,然后垂直于表面同时打开(冲孔)大量的孔。接下来,在板状电极中打开的孔的内部部分填充(堵塞)电荷存储膜(粉红色部分)和柱状电极(灰色部分为柱状结构)。在此条件下,板状电极与柱状电极的交点为一个存储单元。在BiCS FLASH™存储单元中,电子在穿过柱中心的电极(灰色结构)和电荷存储膜(粉红色)之间交换。这样,存储单元不是一层一层地堆叠起来,而是先堆叠板状电极,然后在它们之间开一个孔,连接电极,这样就形成了所有层的存储单元一次性降低制造成本。

铠侠&西部数据推出了48层BiCS 3D NAND ,为64层,为96层,达到112层。,铠侠和西部数据宣布了他们的第六代 BiCS 3D NAND 技术,该技术有162层,这也是采用CuA概念的第一款产品。西部数据透露的路线图中显示,下一代“BiCS+”将在 年底推出,层数应增加到200多个。

作为全球最主要的NAND闪存公司之一,SK海力士是最后一家开发3D NAND闪存技术的公司。据Tech insights的分析,从到,SK Hynix陆续开发了四种类型的存储单元阵列:至开发的首个存储单元阵列采用类似于Kioxia开发的称为“ SP-BiCS”的单元阵列“ P-BiCS”的结构,似乎是32层;其又开发了存储单元阵列的改进版本—“ DP-BiCS Gen1”,估计为48层;,SK海力士开发了一种名为“ DP-BiCS Gen2”的存储单元阵列,该阵列具有将存储堆栈分为两个“层”(也称为“甲板”)的结构,估计为72层。

架构四:4D PUC,代表厂商:SK海力士

11月,从第四代96层3D NAND开始,SK海力士推出了新的命名法——4D PUC(Periphery Under Cell),PUC是一种将外围电路重新定位到电池底部的技术,尽管有这个名字,该公司并没有在四维空间中创建产品,“4”这个数字所代表的其实是一种先进性(而不是指进入第四维度)。它是3D架构变体的商品名,首批所谓的4D NAND设备提升了CTF(电荷撷取闪存)NAND阵列下的外围电路,从而在芯片上节省更多空间,并进一步降低生产成本。按照SK海力士的说法,与3D相比,4D 产品单位单元面积更小,生产效率更高。

98层之后,SK海力士陆续开发出128层、176层3D NAND。8月,SK海力士宣布已开发出世界最高238层4D NAND闪存,也是尺寸最小的NAND,预计上半年开始量产。SK 海力士目前的4D NAND技术现已被公认为行业标准。

架构五:Xtacking,代表厂商:长江存储

3D闪存中除了存储阵列之外这些外围电路会占据相当大的芯片面积,可以看出,上述这些存储厂商所采用的架构大多是是将外围电路放到存储单元下方。而长江存储所采取的是与其他公司完全不同的方法——Xtacking。

Xtacking技术是把存储阵列和外围电路分开来做,分别在两个独立晶圆上加工,虽然NAND闪存不适合用更先进的制程来加工,但是外围的电路却可以。两部分选用合适的工艺节点完成后,完成的内存阵列晶圆通过数十亿个垂直互连通道(VIAs)连接到外围晶圆。如下图所示,将外围电路位于内存之上,然后通过铜混合键合技术堆叠并连接它们,可实现更高的位密度。但是这种粘合技术仍然很昂贵。

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